Ez a berendezés alkalmas ostyák ragasztás előtti előkezelésére. A rendszer egy kamrából, vákuumrendszerből, fűtési rendszerből, nitrogén-öblítő rendszerből, folyadékadagoló rendszerből és vezérlőrendszerből áll. A többszörös vákuumciklusok és a 150°C-os forró nitrogénnel történő melegítés révén a berendezés hatékonyan szárítja és tisztítja az ostya felületét, megakadályozva az oxidációt és a szennyeződések diffúzióját. A folyadékadagoló rendszer HDMS védőfóliát is képes felvinni az ostya felületére, ami kiváló tapadó tulajdonságokat eredményez. A kézi HMDS bevonattal összehasonlítva ez a rendszer jelentős előnyöket kínál, mint például a jó ismételhetőség, a csökkentett vegyszerfogyasztás, a környezetbarát és az emberi egészség biztonsága. Más eljárásokban is használható ostyák tisztítására. A vezérlőrendszer PLC-t, az ember-gép interfész pedig érintőképernyőt használ, ami nagy megbízhatóságot, könnyű kezelhetőséget és intuitív vezérlést kínál.
A félvezetők (chip/integrált áramkör) gyártási folyamataiban a fotolitográfia az integrált áramköri minták átvitelének döntő lépése. A fotoreziszt bevonat minősége közvetlenül befolyásolja a fotolitográfia minőségét, így a bevonási folyamat különösen fontos. A fotolitográfiában használt fotorezisztek többsége hidrofób, míg a szilícium lapka felületén a hidroxilcsoportok és a maradék vízmolekulák hidrofilek. Ez gyenge tapadást eredményez a fotoreziszt és a szilícium lapka között, különösen pozitív fotorezisztek esetén. A fejlesztés során az előhívó megoldás áthatolhat a fotoreziszt és a szilícium lapka közötti felületen, könnyen okozva olyan jelenségeket, mint a fotoreziszt leválása és lebegése, ami a fotolitográfiai mintaátvitel meghibásodásához vezet. Ezzel egyidejűleg a nedves maratás hajlamos az oldalsó maratásra. A HMDS előkezelő rendszerrel végzett előkezelést követően sziloxán alapú vegyületet vonnak be az aljzat felületére. Az ostya felülete hidrofilről hidrofóbra változik, ami csökkenti az érintkezési szöget, csökkenti a szükséges fotoreziszt mennyiségét, és fokozza a tapadást a fotoreziszthez. Ez gátolja az oldalsó maratást és a mintázat elsodródását a fejlesztési folyamat során, javítja a fotoreziszt tapadást, és fokozza az anyag korrózióállóságát zord környezetben, ezáltal jelentősen javítja a termék minőségét és csökkenti a hibaarányt.
A folyamat célja:
A berendezés teljesen automatikusan működik PLC vezérléssel. Az eljárás magában foglalja az aljzat magas hőmérsékletű sütését a felületi nedvesség eltávolítása érdekében, kombinálva vákuumszárítással és nitrogénvédelmi technológiával, amely eltávolítja a nedvességet és a szennyeződéseket az ostya felületéről, megakadályozza az oxidációt és a szennyeződések diffúzióját, valamint biztosítja a tisztaságot a bevonat előtt. Ezután HMDS (hexametildiszilazán C6H19NSi2) gázt vezetnek be. Magas hőmérsékleten az aljzat felülete és a HMDS teljesen reakcióba lép, és egy vegyületet képez, amely elsősorban sziloxánból áll. Ez a hordozófelületet hidrofilről hidrofóbra változtatja, lehetővé téve, hogy a hidrofób csoport jól kötődjön a fotoreziszthez, és kapcsolószerként működik.
Folyamatfolyamat:
Először a vákuumszivattyút kell bekapcsolni, hogy megkezdődjön a porszívózás. Amint a kamrában a vákuumszint eléri a beállított értéket (ez az érték a vákuummérő P2 értékének megváltoztatásával állítható be, lásd a vákuummérő kézikönyvét), nitrogén kerül bevezetésre. A beállított vákuumszint elérése után (ez az érték a vákuummérő P1 értékének megváltoztatásával állítható be) megismétlődik a vákuumozás és a nitrogén bevezetése. A beállított nitrogénbeviteli szám elérése után újra kezdődik a vákuumozás, majd a vegyszeres oldat bevezetése következik. A beállított idő letelte után a kémiai oldat bevezetése leáll, és megkezdődik a tartási fázis. A beállított tartási idő után újra kezdődik a porszívózás és a nitrogén bevezetés, a beállított ciklusszámig. Amint a rendszer automatikusan befejezi a folyamatot, hang- és vizuális riasztást ad, jelezve, hogy az ostyák készen állnak az eltávolításra.
① Külső héj anyaga: válogatott kiváló minőségű hidegen hengerelt acéllemezből (Q235), precízen CNC megmunkálással alakították ki. A felületet foszfátozással és antisztatikus porbevonattal kezelik, így robusztus héjat alkotnak. Antisztatikus, korrózióálló és karcálló, így biztosítja a tartós minőséget;
② Belső kamra: A belső kamra 304 szálcsiszolt rozsdamentes acélból készül, anyagtanúsítvánnyal (anyagjelentés elérhető), korrózióálló és könnyen tisztítható;
③ Vezérlőpult: Csúcskategóriás színes érintőképernyős vezérlő, amely valós időben jeleníti meg a legfontosabb paramétereket, például a hőmérsékletet és az időt. Az intelligens hiba- és riasztási információk egyértelmű és intuitív vezérlést biztosítanak;
④ Megfigyelő ablak: Panorámás, nagy szögű megfigyelőablak, 8 mm-es külső és 20 mm-es belső kétrétegű edzett üveggel, magas hőmérsékletnek ellenálló és rendkívül átlátszó, világosan megjeleníti a kamra teljes belsejét, valós időben, így a kísérleti állapot egy pillantásra egyértelművé válik;
⑤ Polcok: Standard krómozott korrózióálló hálós polcok, különféle anyagokban és szerkezetekben is kaphatók a különféle kísérleti igényekhez való rugalmas alkalmazkodás érdekében;
⑥ Szigetelőréteg: A külső héj és a munkakamra közötti tér 80 mm vastag, nagy tisztaságú kerámiaszálas pamuttal (Al2O₃) van kitöltve, amely kiváló hőszigetelést biztosít, nagymértékben csökkenti a hőveszteséget, biztosítja az állandó hőmérséklet-stabilitást és magas energiahatékonyságot;
⑦ Tömítőcsík: Egyedi öntött szilikongumi tömítőgyűrűvel, kerületi konvex vonalszerkezettel és egyedülálló aktív vákuumtörő tömítési technológiával. Nyomásoldás közben azonnal csatornát képez, nagymértékben javítva a vákuumtörés hatékonyságát, és biztosítja, hogy az ajtó könnyen nyitható legyen a nyomáscsökkentés után;
⑧ Fűtőcső: egyedi gyártású ultra-hosszú élettartamú SUS304 rozsdamentes acél fűtőcső, opcionális polccal/környező fűtőszerkezettel, pontosan a folyamathoz igazítva, egyenletes és hatékony fűtést biztosítva;
⑨ Bemeneti/kimeneti szelepek: Teljesen réz vákuumszelepek, könnyen és érzékenyen kezelhetők, megbízható tömítéssel;
① Ez a rendszer automatikusan végrehajtja az állandó hőmérséklet, a nagy vákuum és az inertgáz öblítés programozott ciklusait az előre beállított paraméterek szerint; pontosan szabályozza a folyadék befecskendezésének és a nyomás fenntartásának időzítését; és hang- és képjeleket ad a folyamat befejeztével.
② Színes érintőképernyő: szabványos színes képernyővel és érintésvezérléssel, egyetlen képernyőn jeleníti meg a paramétereket, például a beállított hőmérsékletet, az üzemi hőmérsékletet, az állandó hőmérsékleti időt és a hibainformációkat; a PID-paraméterek dinamikus beállítása olyan funkciókkal, mint a válaszsebesség és a hőmérséklet-túllövés elnyomása;
③ Mikroszámítógépes P.I.D hőmérséklet-szabályozót használ, túlmelegedés elleni védelemmel, sebességtúllépés elleni védelemmel és érintőképernyős kijelzővel, valamint időzítési funkcióval;
④ Több időzítési mód: 1. Az időzítési egységek szabadon válthatók percek és órák között; 2. Két időzítési mód: időzítés a bekapcsolástól és az állandó hőmérséklet elérése utáni időzítés;
⑤ Nagy pontosságú ellenállású szilícium vákuumérzékelővel felszerelve, amely stabil és megbízható, és valós időben érzékeli a kamrában a vákuum mértékét, pontos adattámogatást és garanciát biztosítva a precíz folyamatokhoz;
⑥ Továbbfejlesztett hang- és fényriasztó környezeti letapogató mikroszámítógép chip stabil adatfeldolgozási képességekkel;
⑦ A funkciók közé tartozik a túlmelegedés riasztás, a túlmelegedés lekapcsolása, az időzített leállítás, a bekapcsolás helyreállítása, a paramétermemória, a hőmérséklet-korrekció és az önbeállítás;
⑧ Áramkimaradás helyreállítási funkció: Ha a külső tápegység hirtelen megszakad, majd helyreáll, a berendezés automatikusan folytathatja működését az eredetileg beállított program szerint;
⑨ Önbeállítás: Ha a hőmérséklet-szabályozás pontossága a környezeti hőmérséklet változása miatt pontatlan, önbeállítás végezhető a hőmérséklet pontosabbá tétele érdekében;
⑩ Több mód szabadon váltható: fix értékű mód/időzítés mód váltás.
| Modell | DEP-HMDS50 | DEP-HMDS50 | DEP-HMDS150 |
| Vezérlőrendszer | PLC ipari számítógép | ||
| Ember-számítógép interakció | 7 hüvelykes színes érintőképernyős vezérlő | ||
| Hőmérséklet érzékelő | PT100 Platinum RTD | ||
| Hőmérséklet tartomány | RT 10～200 ℃ | ||
| Hőmérséklet felbontás | 0,1 ℃ | ||
| Hőmérséklet-ingadozás | ≤±0,5 ℃ | ||
| Időzítő tartomány | 0～9999 perc | ||
| Programcsoport | 100 csoport / 100 szegmens csoportonként | ||
| Adatbiztonság | Level 3 access control, audit trail | ||
| Intelligens biztonság | Bekapcsolási önteszt, túlmelegedés riasztás és fűtés lekapcsolása, hőmérséklet-érzékelő eltérésének korrekciója, képernyőzár. | ||
| Időzítési irány | Visszaszámlálás/visszaszámlálás | ||
| Időzítő egység | Perc/Óra | ||
| Vákuummérő | Rezisztív szilícium vákuummérő | ||
| Végső vákuum | ≤100Pa | ||
| Szivattyúzási sebesség | 2L/S | ||
| Tápfeszültség | AC220V/50Hz | 220V/18A | 220V/18A |
| Névleges teljesítmény | 2KW | 3 kW | 3,2 kW |
| Belső méretek | 410x370x345 mm | 450x450x450 mm | 500x500x600mm |
| Külső méretek | 610x525x1285 mm | 660x590x1470 mm | 670x650x1630mm |
| kötet | 52L | 91L | 150L |
| Szabványos polcok | 2 | 2 | 3 |
| Bruttó/nettó tömeg | 152/138 kg | 185/165 kg | 235/205KG |
| Nem. | Név | Paraméterek | Referencia fénykép |
| 1 | Scroll Vákuumszivattyú | ① Olajmentes szivattyú | |
| 2 | Olajköd szűrő | ① Szűri az olajködöt a vákuumszivattyúból |  |
A híres vállalatok által kínált termékekben a felhasználók mélyen megbíznak.
Shanghai Dengsheng Instrument Manufacturing Co., Ltd. , egy high-tech vállalkozás, amely integrálja a kutatás-fejlesztést, a termelést, az értékesítést és a szolgáltatást. Csúcskategóriás laboratóriumi berendezések gyártására specializálódtunk, beleértve a sütőket, inkubátorokat, ipari kemencéket és környezetvédelmi tesztkamrákat.
Az As and We 8000 négyzetméteres modern gyártóüzemünkkel, elkötelezett K+F csapattal, 23 nemzeti szabadalommal és ISO-9001 minőségirányítási rendszer tanúsítvánnyal büszkélkedhet. Megoldásainkat széles körben alkalmazzák az olyan élvonalbeli területeken, mint a repülőgépipar, a félvezetőgyártás, a biomedicina, az autóipar és az új anyagok. Mélyreható partneri kapcsolatokat építettünk ki a legjobb egyetemekkel és iparági vezetőkkel, termékeinket a világ számos országába és régiójába exportálják.
Az "Integrity, Innovation és Win-Win" elveit követve elkötelezettek vagyunk amellett, hogy megbízható minőséggel és elkötelezett szolgáltatással az Ön megbízható partnerévé váljunk.
Professzionális berendezési megoldásokat kínálva várjuk új és meglévő ügyfelek érdeklődését és együttműködését.
2026/03/09
2026/03/02
2026/02/24
Vissza az elejére
